中微公司：冉冉升起的國際半導(dǎo)體裝備“新星”

    四輪問答，過關(guān)斬將，尹志堯（中微公司創(chuàng)始人、董事長及總經(jīng)理）統(tǒng)領(lǐng)的中微公司僅用2個多月的時間，即于6月11日晚間披露了招股書上會稿。

    作為首家“四問”后上會的公司，中微公司有什么“真功夫”？“技術(shù)研發(fā)能力出色，產(chǎn)品性能良好，中微公司的市場競爭力已不容小覷。”在大規(guī)模使用了中微公司MOCVD設(shè)備（金屬有機化合物化學(xué)氣相沉淀，是生產(chǎn)LED芯片的關(guān)鍵設(shè)備）后，華燦光電總裁劉榕如此評價。另有資深半導(dǎo)體裝備業(yè)內(nèi)人士評述，“這是一顆冉冉升起的國際半導(dǎo)體裝備‘新星&rsquo！dquo;

    從刻蝕設(shè)備打破國際領(lǐng)先企業(yè)在中國市場的壟斷，到成為全球MOCVD龍頭，再到5nm等離子體刻蝕設(shè)備應(yīng)用到全球最領(lǐng)先的晶圓制造廠，中微公司在中國創(chuàng)“芯”的當下，一直勇立潮頭，用技術(shù)創(chuàng)新來為“中國芯”保駕護航。

    打破國外壟斷專利訴訟從未輸過

    提到半導(dǎo)體，國人首先想到的就是被國際先進“卡脖子”，尤其是半導(dǎo)體裝備，更是國人長期的“心痛”。如今，中微公司用自己的堅韌和努力，一點一滴地改變著這個狀況。

    2015年，美國商務(wù)部工業(yè)和安全局（BIS）發(fā)布了一個特別的公告：由于中國一家公司已經(jīng)做出了和美國設(shè)備公司有相同質(zhì)量和數(shù)量的等離子體刻蝕機，所以取消對中國的刻蝕機出口管制。這家公司正是中微——全球半導(dǎo)體裝備新秀。

    之后，中微公司在MOCVD領(lǐng)域再獲佳績。2010年，中微公司開始研發(fā)用于LED器件加工中最關(guān)鍵的設(shè)備——MOCVD，到2017年逐步打破美國Veeco（維易科）、德國愛思強等國際廠商的壟斷。

    中微公司何以能打破國外壟斷？在業(yè)內(nèi)人士看來，這是一家具有“巨人基因”的公司。2004年，尹志堯帶領(lǐng)一個豪華的全球化團隊，創(chuàng)辦了中微公司，致力于半導(dǎo)體裝備的國產(chǎn)化。彼時，尹志堯已經(jīng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域耕耘20載，先后在Intel、泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料等頂級國際半導(dǎo)體公司擔任要職，具有豐富的半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域經(jīng)驗。中微公司的其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員如杜志游、倪圖強、麥仕義也都是這個領(lǐng)域的頂尖人才。

    集成電路是一個“板凳要坐十年冷”的產(chǎn)業(yè)，其中的半導(dǎo)體裝備細分領(lǐng)域更是如此。中微公司在這個領(lǐng)域跋涉了11年，才迫使美國放開在刻蝕機領(lǐng)域的壟斷;奮斗了14載，才在全球氮化鎵基LEDMOCVD設(shè)備市場占據(jù)主導(dǎo)地位。

    真正的高科技公司都是研發(fā)打頭陣。2016年至2018年，中微的研發(fā)支出分別是3.02億元、3.3億元、4.04億元，占其當期營收的比例分別為49.62%、34%、24.65%。

    2017年11月，在Veeco申請禁止SGL出售采用其專利的石墨盤給中微公司時，中微公司最終贏得了起訴Veeco專利侵權(quán)的關(guān)鍵專利有效性審決。

    這是最讓尹志堯驕傲的事情之一——憑借強大的自主研發(fā)，中微公司從未輸過任何專利訴訟。

    據(jù)招股書，截至2018年末，中微公司共涉及4起海內(nèi)外知識產(chǎn)權(quán)訴訟案件，涵蓋2件專利案件和2件商業(yè)秘密案件，公司在訴訟中均達成和解或勝訴，以事實證明了公司具有較堅實的知識產(chǎn)權(quán)地位和應(yīng)對國際復(fù)雜的知識產(chǎn)權(quán)挑戰(zhàn)的能力，為公司的健康發(fā)展提供了有力保障。

    “中微公司面臨國際巨頭的訴訟一點都不奇怪，它干的就是搶巨頭蛋糕的活。”面對中微從創(chuàng)立起就面臨的一個接一個訴訟，某國際半導(dǎo)體裝備公司高管對記者解釋道，半導(dǎo)體行業(yè)其實是一個高度集中的市場，幾乎每個細分領(lǐng)域的前三家都占據(jù)了近九成的市場份額，新進入者嶄露頭角自然備受打壓。

    刻蝕設(shè)備打入5nm

    MOCVD國際先進行列

    臺積電在5月份的技術(shù)論壇上透露，5nm制程生產(chǎn)線一期已經(jīng)開始裝機，預(yù)計明年一季度量產(chǎn)。因此，中微公司再次成為市場的焦點。

    中微公司在招股書中披露，其自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備已廣泛應(yīng)用于國際先進的14nm、7nm和5nm生產(chǎn)線。

    中微創(chuàng)立之初，就將目光瞄準了刻蝕設(shè)備領(lǐng)域。“等離子刻蝕機的加工精度相當于頭發(fā)絲的五千分之一，還要求有持續(xù)的穩(wěn)定性。”在前述國際半導(dǎo)體裝備公司高管看來，正是在工藝、設(shè)計等領(lǐng)域的精湛技術(shù)，以及數(shù)十年如一日的堅持，使得中微可以擁有打破壟斷的實力。

    僅用了3年，中微公司就于2007年拿出了第一代介質(zhì)刻蝕機。同年7月，中微公司進入清科集團的“2007年中國最具投資價值企業(yè)50強”榜單。也就是在這一年，中微公司成為了國際半導(dǎo)體巨頭的眼中釘，專利訴訟開始接連不斷。

    目前，中微公司在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域和MOCVD領(lǐng)域都進入了全球先進行列。

    在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，據(jù)中微公司披露，14-7納米CCP介質(zhì)刻蝕機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、用于先進邏輯電路的CCP刻蝕設(shè)備均達到國際先進水平，用于存儲器刻蝕的CCP刻蝕設(shè)備處于追趕先進水平。

    “研發(fā)能力出色，產(chǎn)品性能良好。”在大規(guī)模采購并使用了中微公司的MOCVD后，華燦光電總裁劉榕在接受采訪時給出了這樣的評價。目前，中微公司已開發(fā)了三代MOCVD設(shè)備，高溫MOCVD設(shè)備、30英寸大尺寸MOCVD設(shè)備、新型高產(chǎn)能MOCVD設(shè)備均達到國際先進水平，產(chǎn)品被三安光電、華燦光電、乾照光電等多家一流LED制造大廠大批量采購，逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

    實力擔當之下，中微公司承擔了多項國家科技重大專項等課題。據(jù)招股書，自2009年起，中微公司先后承擔了65-45nm介質(zhì)刻蝕機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、32-22nm介質(zhì)刻蝕機研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、22-14nm介質(zhì)刻蝕機開發(fā)及關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化、14-7nm介質(zhì)刻蝕機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、刻蝕工藝零部件驗證與應(yīng)用等國家科技重大專項，以及高端MOCVD設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、450mm大尺寸刻蝕機研發(fā)等上海市項目。

    開拓創(chuàng)新，在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域攻城略地，中微公司拿獎拿到手軟。據(jù)披露，中微公司共榮獲了69項知名獎項，如在2018年度VLSIResearch“客戶滿意度”調(diào)查中位居全球半導(dǎo)體設(shè)備公司的第三名，在刻蝕和清洗設(shè)備供應(yīng)商排名中位列第二，在全球薄膜沉積設(shè)備供應(yīng)商排名中榮登榜首。

    志在全球深度受益國內(nèi)IC發(fā)展

    “隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展，中微公司迎來快速成長期。”對于中微公司的發(fā)展前景，有產(chǎn)業(yè)研究人士認為，在摩爾定律引導(dǎo)下，全球新建生產(chǎn)線超過60條，其中超過四成在中國，這給中微公司帶來巨大機遇。

    “到2020年，僅芯片前端設(shè)備的市場規(guī)模將達到300至400億美元。”尹志堯在2017年某次演講中曾引用相關(guān)數(shù)據(jù)，描述了中微公司從事的刻蝕和化學(xué)薄膜設(shè)備的良好市場前景。“我們統(tǒng)計，2016年到2020年，半導(dǎo)體設(shè)備投資為748億美元，其中等離子體刻蝕設(shè)備投資大約為134.7億美元，中微的刻蝕機可以得到相當大的份額。”

    盡管前景是光明的，但道路是曲折的。在創(chuàng)業(yè)之初，尹志堯和中微公司沒有少受“錢”的折磨。

    據(jù)一半導(dǎo)體裝備人士介紹，高技術(shù)、高投入、高風險，是半導(dǎo)體行業(yè)的典型特征;加上投資周期長，半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域就更難尋求到市場化的資金。

    這個時候，政府基金尤其是像國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡稱“大基金”）這樣的專項基金的重要性就凸顯出來。據(jù)披露，自2016年至2018年，中微公司先后啟動了多輪融資，引入了巽鑫投資、上海創(chuàng)投、國開創(chuàng)新、浦東新興等多家國資背景的機構(gòu)股東。

    招股書顯示，中微公司第一大、第二大股東上海創(chuàng)投、巽鑫投資分別持股20.02%、19.39%。其中，巽鑫投資成立于2014年12月，是大基金100%控股的子公司。上海創(chuàng)投是上?？萍紕?chuàng)業(yè)投資（集團）有限公司100%控股的子公司，實際控制人為上海市國資委。

    “回顧半導(dǎo)體發(fā)展史，各國的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)都是在政府支持下才有了大力發(fā)展。”對于政府對產(chǎn)業(yè)的支持，上述產(chǎn)業(yè)研究人士給予了充分的肯定。

    中微公司的快速發(fā)展也有力地證明，在半導(dǎo)體領(lǐng)域尤其是半導(dǎo)體裝備材料領(lǐng)域，政府扶持具有相當重要的作用。財務(wù)數(shù)據(jù)顯示，中微公司2016年至2018年營業(yè)收入分別為6.1億元、9.72億元、16.39億元，年均復(fù)合增長率為64.00%;歸母凈利潤分別為-2.39億元、2991.87萬元、9086.92萬元。

    “盡管中微公司已經(jīng)很成功，但到目前為止，只不過是從國際巨頭的嘴里撕下來一小塊肉。面對它們占有超九成的市場份額、長期積累的研發(fā)技術(shù)能力，中微公司一刻都不可以懈怠和掉以輕心。”有國際半導(dǎo)體設(shè)備大廠的人士提醒，在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，如果進入不了全球前2名行列，面對技術(shù)的快速迭代，公司也就無法形成長期的市場競爭力、持續(xù)的研發(fā)能力。