本報訊 （記者張文湘 見習記者占健宇）日前，上海盛劍科技股份有限公司（以下簡稱“盛劍科技”）國產(chǎn)半導體制程附屬設備及關鍵零部件項目（一期）投產(chǎn)儀式在上海嘉定工業(yè)區(qū)舉行。
據(jù)悉，該項目規(guī)劃生產(chǎn)工藝廢氣處理設備、真空設備、溫控設備，這些產(chǎn)品共同作用于半導體制程設備的反應腔輔助控制，可使反應腔滿足刻蝕、離子注入、擴散及薄膜沉積等工藝所需的環(huán)境條件，是半導體制程中不可或缺的重要組成部分。該項目的順利投產(chǎn)，是盛劍科技產(chǎn)業(yè)布局中的重要一環(huán)，進一步提升了公司半導體制程附屬設備及關鍵零部件的生產(chǎn)能力、運維能力和產(chǎn)業(yè)競爭力。
（編輯 張明富）
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