需求大到賣斷貨 國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)步入黃金時(shí)期

    “我們本打算購(gòu)買上海微電子的光刻機(jī)，卻被告知沒有貨。”一家在建晶圓廠負(fù)責(zé)人不無(wú)遺憾地說。與此相反，一家半導(dǎo)體后道檢測(cè)設(shè)備商高管聊起業(yè)務(wù)卻格外興奮：“新需求非常多，大廠不僅樂意采購(gòu)本土廠商的設(shè)備，還積極配合研發(fā)。”這是上海證券報(bào)記者近期草根調(diào)研半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的一個(gè)小小縮影。

    據(jù)記者調(diào)查，許多國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備公司目前訂單爆滿，產(chǎn)品交貨期普遍延長(zhǎng)，這些公司迎來(lái)了真正的產(chǎn)業(yè)化大機(jī)遇。不過，在更上游的原材料、零部件以及EDA（電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化）、MES（制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行管理系統(tǒng)）軟件等領(lǐng)域，中國(guó)半導(dǎo)體依然需要繼續(xù)“補(bǔ)課”。

    新需求、新突破共同發(fā)酵

    “我們應(yīng)一家上市公司要求，開發(fā)了12英寸多層結(jié)構(gòu)厚度測(cè)量設(shè)備，半年內(nèi)就實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品交付。”提及半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)，寧波謙視科技總經(jīng)理宋金龍很開心，他說，國(guó)內(nèi)先進(jìn)封裝發(fā)展很快，涌現(xiàn)出很多新的設(shè)備需求，比如多層厚度測(cè)量、膠厚測(cè)量等，這些也是國(guó)產(chǎn)設(shè)備的空白點(diǎn)。

    在前道先進(jìn)制程領(lǐng)域，突破的“種子”也在次第種下。海外留學(xué)歸來(lái)的朱博士告訴記者，瞄準(zhǔn)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備空白，他與合伙人正在致力于納米級(jí)晶圓圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備研發(fā)。同樣在前道檢測(cè)領(lǐng)域，上海睿勵(lì)的缺陷檢測(cè)設(shè)備已經(jīng)打破KLA、ONTO等國(guó)際廠商的壟斷，進(jìn)入了國(guó)內(nèi)某頭部科技公司。

    上市公司也在持續(xù)跟蹤新需求。比如，中微公司再度拓寬LED領(lǐng)域業(yè)務(wù)，公司近期表示，正積極布局Mini-LED新型顯示及功率器件等領(lǐng)域，MOCVD設(shè)備在氮化鎵基miniLED領(lǐng)域取得了領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。此外，公司看好薄膜設(shè)備未來(lái)，已就產(chǎn)品開發(fā)組建了專業(yè)的技術(shù)和營(yíng)運(yùn)團(tuán)隊(duì)，開展預(yù)研工作。

    更可喜的是，上市公司在前道設(shè)備領(lǐng)域的“播種”已經(jīng)開花結(jié)果。“公司的前道光刻涂膠顯影機(jī)和清洗機(jī)今年開始貢獻(xiàn)營(yíng)收了，一季度驗(yàn)收確認(rèn)數(shù)量已經(jīng)超過去年全年。”芯源微董事長(zhǎng)宗潤(rùn)福接受采訪時(shí)介紹，公司現(xiàn)在訂單飽滿。與之類似的是，萬(wàn)業(yè)企業(yè)在去年底實(shí)現(xiàn)了集成電路用離子注入機(jī)的銷售訂單突破。

    “未來(lái)兩至三年，是中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的黃金窗口期。”宗潤(rùn)福告訴記者。

    “國(guó)產(chǎn)量測(cè)設(shè)備在封裝廠會(huì)有大量的機(jī)會(huì)。”宋金龍認(rèn)為，國(guó)產(chǎn)量測(cè)設(shè)備廠商的機(jī)會(huì)一方面是源于后道封裝工藝復(fù)雜度提升對(duì)檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備的新需求；另一方面，相較于前道制程工藝，封裝階段的量測(cè)設(shè)備對(duì)光學(xué)系統(tǒng)、算法等要求相對(duì)較低，國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商有更多的參與機(jī)會(huì)。

    “在40nm及以上成熟制程上，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)比較成熟，28nm制程領(lǐng)域也相對(duì)完善；但在28nm以下制程領(lǐng)域，無(wú)論是半導(dǎo)體設(shè)備還是材料，我國(guó)企業(yè)還需要加速追趕國(guó)際先進(jìn)。”對(duì)于前道制程設(shè)備的成熟度，遠(yuǎn)川研究所所長(zhǎng)董世敏認(rèn)為，目前，晶圓廠加速對(duì)半導(dǎo)體材料、設(shè)備的驗(yàn)證，加快了產(chǎn)業(yè)正循環(huán)發(fā)展，開啟了產(chǎn)業(yè)發(fā)展新篇章。

    “晶圓廠工藝成熟起來(lái)，并且愿意協(xié)助上下游研發(fā)，半導(dǎo)體設(shè)備和材料的成熟不過是個(gè)時(shí)間問題。”對(duì)于前道制程設(shè)備的發(fā)展，宗潤(rùn)福認(rèn)為，晶圓廠是拉動(dòng)上下游產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展、提升整個(gè)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的重要力量。

    國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備“賣斷貨”

    “我們本打算購(gòu)買上海微電子的90nm光刻機(jī)，被告知沒有存貨，沒有零部件無(wú)法接新訂單。”某在建晶圓廠相關(guān)人士告訴記者，他們今年對(duì)多家國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司的產(chǎn)品進(jìn)行了評(píng)估，但現(xiàn)在面臨的問題是，部分設(shè)備公司無(wú)法對(duì)公司按期交付設(shè)備。

    “當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)訂單爆滿，銷售形勢(shì)很好。”宗潤(rùn)福笑著說，芯片缺貨后，開始輪到半導(dǎo)體設(shè)備“賣斷貨”了。

    “不僅是上海微電子，在新建產(chǎn)線上馬、晶圓制造廠和IDM（設(shè)計(jì)與制造一體模式）公司紛紛擴(kuò)產(chǎn)的情況下，多家頭部設(shè)備公司的訂單都非常飽滿。”有晶圓廠人士透露，晶圓廠也加快了對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證和采購(gòu)。

    芯源微就是典型。據(jù)公司披露，由于訂單飽滿，公司一季度營(yíng)收達(dá)到1.13億元。北方華創(chuàng)近日在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司對(duì)亦莊基地進(jìn)行了二期擴(kuò)建、對(duì)平谷基地進(jìn)行了產(chǎn)能擴(kuò)充，但產(chǎn)能仍略顯緊張。

    “此番國(guó)產(chǎn)設(shè)備出貨加速，不僅改善相關(guān)公司的財(cái)務(wù)，更意味著其技術(shù)和競(jìng)爭(zhēng)力的提升。”對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備“賣斷貨”現(xiàn)象，董世敏在接受記者采訪時(shí)強(qiáng)調(diào)，對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備、材料而言，研發(fā)生產(chǎn)出來(lái)很重要，但“用起來(lái)”更關(guān)鍵，通過使用過程中的經(jīng)驗(yàn)和反饋，相關(guān)廠商可不斷改進(jìn)和提升工藝，在上下游的緊密配合中積累know-how（技術(shù)訣竅），技術(shù)和銷量才能實(shí)現(xiàn)相互正反饋。

    以往，由于面臨“可用性、必要性、成本效益”三角模型，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入應(yīng)用的機(jī)會(huì)相對(duì)較少。為什么今時(shí)不同往日？

    “內(nèi)外部多因素共同作用的結(jié)果。”董世敏介紹，由于貿(mào)易摩擦影響，晶圓廠與封裝廠開始重視國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈建設(shè)；受疫情影響，部分海外設(shè)備材料公司無(wú)法正常生產(chǎn)，也促使晶圓廠、封裝廠加大在國(guó)內(nèi)的采購(gòu)。從半導(dǎo)體設(shè)備、材料產(chǎn)業(yè)自身看，經(jīng)過多年扶持和自身努力，相關(guān)廠商已經(jīng)取得不錯(cuò)的成績(jī)，產(chǎn)品開始從“可用”向“好用”邁進(jìn)。

    “晶圓廠采購(gòu)國(guó)產(chǎn)設(shè)備材料，短期來(lái)看可能增加時(shí)間等成本，但長(zhǎng)期對(duì)提升其自身、整個(gè)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力作用巨大。”宗潤(rùn)福補(bǔ)充道，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備材料“賣斷貨”，背后一個(gè)很重要的因素是，中國(guó)晶圓廠已經(jīng)有能力評(píng)估半導(dǎo)體設(shè)備、材料，組織相關(guān)驗(yàn)證，這也使其加快了采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備、材料的步伐。

    原材料、零部件需“補(bǔ)課”

    訂單爆滿，但國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司也有“鬧心”的事兒。由于零部件短缺、產(chǎn)能有限等因素，部分半導(dǎo)體公司面臨著“無(wú)米之炊”的境況。

    “芯源微有部分核心零部件從日本進(jìn)口，由于疫情和整個(gè)產(chǎn)業(yè)需求爆發(fā)等因素，這些零部件采購(gòu)交期確實(shí)拉長(zhǎng)了。”宗潤(rùn)福對(duì)記者證實(shí)。

    記者了解到，半導(dǎo)體是一個(gè)高度全球化、分工體系明確的產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體設(shè)備商往往需要建立全球化的采購(gòu)體系。比如，中微公司與全球400多家供應(yīng)商建立了穩(wěn)定的合作關(guān)系。生產(chǎn)光刻機(jī)的荷蘭阿斯麥需要同全球5000多家供應(yīng)商合作。

    董世敏告訴記者，跟半導(dǎo)體材料一樣，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備用零部件面臨的也是研發(fā)周期長(zhǎng)、小批量高成本等問題，其發(fā)展不可能一蹴而就。

    “數(shù)年前，芯源微就已經(jīng)著手供應(yīng)鏈本土化，在國(guó)內(nèi)布局了部分核心部件研發(fā)。”宗潤(rùn)福告訴記者，目前看，這樣的布局非常正確，不僅有效降低成本，還保證了質(zhì)量和交貨日期。中微公司也披露，其注重零部件的本土化，在國(guó)內(nèi)培育了眾多的本土零部件供應(yīng)企業(yè)，有力地保障了公司產(chǎn)品零部件供應(yīng)和服務(wù)水平的持續(xù)提升。

    “除了零部件，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體的短板還包括EDA、MES等軟件。”董世敏強(qiáng)調(diào)，在指甲蓋大小芯片上集成幾十、上百億晶體管的今天，離開了EDA軟件，半導(dǎo)體設(shè)計(jì)公司寸步難行，晶圓廠與EDA的合作也更加緊密；而隨著智能化、精益制造發(fā)展，MES等系統(tǒng)軟件在晶圓廠的重要性更是日益凸顯。

    “避免低水平的同質(zhì)化競(jìng)爭(zhēng)，避免價(jià)格戰(zhàn)。”對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，宗潤(rùn)福呼吁，當(dāng)前產(chǎn)業(yè)機(jī)會(huì)很多，半導(dǎo)體設(shè)備從業(yè)人員應(yīng)該著眼于整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和長(zhǎng)遠(yuǎn)利益，進(jìn)行高水平的合作，與產(chǎn)業(yè)鏈各方實(shí)現(xiàn)協(xié)作共贏。