凱世通榮獲上海市科技進(jìn)步獎一等獎

    本報訊 （記者孫文青）10月23日，上海市召開全市科技大會暨科學(xué)技術(shù)獎勵大會，并公布2023年度上海市科學(xué)技術(shù)獎。萬業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（簡稱“凱世通”）榮獲上海市科技進(jìn)步獎一等獎，獲獎項目名為“離子注入機(jī)技術(shù)與應(yīng)用產(chǎn)業(yè)化”。凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉作為項目第一完成人出席大會并登臺領(lǐng)獎。

    凱世通此次獲獎項目所研發(fā)的低能大束流離子注入機(jī)系列設(shè)備是制造邏輯芯片、DRAM存儲芯片、功率器件、CIS芯片的核心設(shè)備，設(shè)備性能與穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越，實(shí)現(xiàn)了集成電路重大裝備產(chǎn)業(yè)化突破。

    夏世偉表示，此次獲獎是凱世通研發(fā)團(tuán)隊辛苦付出、持續(xù)拼搏的結(jié)果，凱世通堅持正向設(shè)計、創(chuàng)新突破，緊密結(jié)合世界前沿科技與產(chǎn)業(yè)需求，持續(xù)創(chuàng)新推動離子注入機(jī)原創(chuàng)性、引領(lǐng)性科技攻關(guān)，不斷強(qiáng)化技術(shù)優(yōu)勢，持續(xù)為客戶提供性能卓越、穩(wěn)定可靠、降本增效的先進(jìn)設(shè)備和工藝解決方案，努力服務(wù)國家集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

    目前，凱世通已打造出多款離子注入機(jī)標(biāo)桿項目，在國內(nèi)主流12英寸晶圓廠實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化并收獲了批量重復(fù)訂單。隨著產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加快，凱世通將持續(xù)提升產(chǎn)能，增強(qiáng)服務(wù)客戶能力。

（編輯 李波）